Silicon Microstructures, Inc. (SMI) **生产各种微结构压力传感器,产品广泛用于汽车制造、医疗设备和工业生产。SMI不仅设计、生产各类微压传感器,并且提供集成化传感器和基于 MEMS 的传感器系统代工服务。 作为**硅压力传感器和加速计的**生产厂家,SMI 成立于1991年。起初公司**生产硅低压传感器,如今 SMI 已拥有众多系列的硅微结构传感器,为各类 OEM 客户提供**的产品。 2001年4月该公司被专门生产汽车用 ASIC 的 Elmos 半导体公司收购。通过集成 Elmos 的 ASIC 技术和 SMI 的6 英寸晶圆生产工艺,推出**、系统化、**位的新一代完整片上系统微结构传感器。2002年8月 SMI 收购了 IC Sensors 的晶圆部,03年 SMI 设计出新型6英寸晶圆生产设备,该设备拥有先进的深度离子刻蚀 (DRIE) 和等离子焊接能力。 主要产品: 1.压力传感器: SMI 主要生产**低压 (<10 mBar/0.15 PSI) 传感器,同时还提供**小型、带数字校准的裸片。 2.加速计: 主要为**集成化和**小型结构。 MS: **生产各种微机电系统 (MEMS), 包括**小型导管传感器、应变传感器、湿度传感器、加速计、定制压力传感器等等。 4.微型封装产品: SMI 开发出新型用于小输出线集成电路的封装产品,该封装可以使传感器更易于安装在印刷电路板上。 5.信号处理和系统化组件: 提供各种信号处理模块 (包括传感器芯片组及集成芯片)。 6.定制化产品: SMI 还为特殊用途用户提供定制产品。 应用领域: 1.工业 ■常规加温,通风、空调系统 (HVAC) 和 VAV 控制器 ■I/P 和 P/I 转换器 2.汽车制造 ■轮胎压力 ■引擎控制 ■气压测定 3.医疗设备 ■呼吸器,通风机,氧气瓶, 制氧机 ■风速计 ■血压计 4.常规设备 ■家用电器 ■水下呼吸器和调节器 ■高度计